P78系列壓電掃描臺為一維Z軸運(yùn)動平臺，壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm，放大機(jī)構(gòu)內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實現(xiàn) Z軸210μm或300μm的位移行程，優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的定位精度，適用于需要大行程精密定位的應(yīng)用領(lǐng)域。 典型應(yīng)用 • 顯微成像 • 表面檢測 • 干涉/計量 • 精密定位 • 生物技術(shù) • 微操作 大通孔、大位移、高分辨、高精度 P78系列壓電掃描臺，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn) Z軸210μm或300μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化實現(xiàn)納米級的分辨率、毫秒級的響應(yīng) 時間。 P78系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器，對位移實現(xiàn) 實時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實現(xiàn)納米級精密控制。掃 描臺臺體中心通孔尺寸64×64mm，適用于干涉、掃描、表面 檢測等應(yīng)用。 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 P78. Z壓電掃描臺滿幅值300μm的閉環(huán)重復(fù)定位精度為 0.05%。 P78壓電掃描臺特性： • Z軸運(yùn)動 • 開環(huán)閉環(huán)可選 • 大行程300μm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 P78壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P78.Z200S P78.Z200K | P78.Z300S P78.Z300K | 單位 | 運(yùn)動自由度 | Z | Z | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 150 | 210 | μm±20% | 大行程范圍（-20~150V） | 210 | 300 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | 64×64 | 64×64 | mm | 閉/開環(huán)分辨率 | 7/3 | 10/5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.04/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <20 | <30 | µrad | 推/拉力 | 50/8 | 30/5 | N | 運(yùn)動方向剛度 | 0.35 | 0.15 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 300 | 150 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 15/3.2 | 30/3.2 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 80 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 10 | 大承載 | 1.5 | 0.5 | kg | 靜電容量 | 7.2 | 7.2 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | | 重量 | 340 | 340 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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