P73.Z500系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器,Z軸直線運動范圍可達550μm,采用柔性鉸鏈設計機構,無摩擦、運動直 線性好且閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡,廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領域。 典型應用 • 三維成像 • 干涉/計量 • 生物科技 • 表面結構分析 • 共焦顯微 • 半導體測試 螺紋適配器便于安裝 P73物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。 大行程、響應速度快、分辨率高 P73壓電物鏡定位器是大行程、高速、壓電陶瓷驅動的聚 焦顯微掃描裝置,產(chǎn)品體積小但可實現(xiàn)的位移高達550μm。 P73采用柔性鉸鏈導向機構,無機械摩擦、無機械間隙、 納米級分辨率,具有超高的定位精度及超快的響應速度。 該系列壓電物鏡定位器具有大剛度、諧振頻率高等特 點,可以實現(xiàn)滿行程20ms的階躍時間,負載 150g后階躍時 間小于30ms且重復度達滿行程的0.05%F.S.。 P73壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡 等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與手動調節(jié)臺相結合 使用。 特性: • 大行程550μm • 大負載0.4kg • 毫秒級響應時間 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 聚焦穩(wěn)定性好 技術參數(shù): 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P73.Z500S P73.Z500K | 單位 | 運動自由度 | Z | | 標稱行程范圍(0~120V) | 400 | μm±20% | 大行程范圍(-20~150V) | 550 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 18/7 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 推/拉力 | 80/10 | N | 運動方向剛度 | 0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 170 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 20/10 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 40 | Hz±20% | 行程 | 10 | 大承載 | 0.4 | kg | 靜電容量 | 14 | μF±20% | 材質 | 鋼、鋁 | | 重量 | 450 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |