壓電偏擺/旋轉臺系列是通過壓電陶瓷驅動進行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結構設計,確保了產(chǎn)品具有的偏轉精度和超高的穩(wěn)定性且響應速度快,是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整。 N20系列壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺,中心透空孔直徑20mm,產(chǎn)品體積小巧,zui大旋轉角度為0.55mrad,重復定位精度達0.2%F.S.,可帶動鏡片做精密旋轉運動。 特性 • θz旋轉,zui大旋轉角度達0.55mrad • 通孔直徑:Ø20mm • 閉環(huán)定位精度高 • 響應速度快 • 體積小巧 外觀形狀 | 產(chǎn)品運動示意圖 | 閉環(huán)曲線 | | | |
小體積、中心通孔、高分辨率、高可靠性 | 頻率負載曲線 | 階躍時間短 | N20為一維θz高精度旋轉平臺,旋轉軸位于正中心,中心通孔用于透射光應用,采用有限元分析對微結構進行優(yōu)化,滿足動態(tài)性以及平面導向精度。 平臺內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷作為驅動元件,臺體采用的柔性鉸鏈機構具有無摩擦無回彈等特點,使其具有超高的分辨率以及可靠性。 旋轉臺面固定安裝孔便于與其他臺體機構集成配套,也可根據(jù)用戶的需求進行OEM定制。 | | N20系列壓電旋轉臺滿行程階躍時間約0.7ms。 |
應用 • 光路調(diào)整 • 光學、激光掃描、通信、光線偏轉、干涉/計量等 大承載力適用于精密加工 N20系列壓電旋轉臺的zui大旋轉角度為0.55mrad,優(yōu)異的鉸鏈導向機構設計,使其承載力可達4kg,并且具有*的穩(wěn)定性,非常適用于科研及工業(yè)上精密操作、光路調(diào)整等應用。 |