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產(chǎn)品分類Product categories

[詳細資料]

1.二維θx, θz向壓電偏擺臺特性

• θx, θz偏擺/旋轉，角度位移達±0.3mrad/軸 • zui大承載達60kg • 閉環(huán)定位精度高 • 外形堅固 • 響應速度快

2.二維θx, θz向壓電偏擺臺外觀形狀	產(chǎn)品運動示意圖	閉環(huán)曲線

大承載、高精度、高頻率

頻率負載曲線

驅動測試實驗

N50 θx, θz二維偏擺/旋轉臺是專門為空間擾動實驗而設計的大承載偏擺系統(tǒng)，具有電容閉環(huán)幅值校正功能，可以帶60kg負載做精密偏轉，zui大行程為±0.3mrad。

N50壓電偏轉臺采用有限元分析對結構進行優(yōu)化，具有非常高的剛度，即使其在負載的情況下仍然可以實現(xiàn)高動態(tài)，zui大頻率可以達到500Hz。

可選擇多種傳感器類型，如電容、電感、應變計等。該產(chǎn)品已經(jīng)成功應用于模擬空間擾動等實驗中。

N50大負載θx, θz二維偏擺/旋轉臺需要三通道控制器進行驅動控制，根據(jù)所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz 使用頻率，我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅動模塊。

3.二維θx, θz向壓電偏擺臺應用

• 光束掃描 • 圖像處理/穩(wěn)定 • 光學、激光掃描、通信、光線偏轉、干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng) • 光路調整 • 掩模與晶片位置調整 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析

可定制

N50壓電偏擺/旋轉臺參數(shù)可接受定制。

想了解更詳細的產(chǎn)品信息，填寫下表直接與我們聯(lián)系：

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