技術(shù)參數(shù) 型號(hào) | P22.U3S | P22.U3K | 單位 | 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx | θx | | 傳感器類型 | SGS | - | | 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度（0~+120V） | 2.5 | 同S | mrad±20% | | zui大偏轉(zhuǎn)角度（-20~+150V） | 4 | 同S | mrad±20% | 偏轉(zhuǎn)分辨率 | 0.3 | 0.1 | μrad | 閉環(huán)線性度 | 0.2 | - | %F.S. | 重復(fù)定位精度 | 0.1 | - | %F.S. | 空載諧振頻率(θx) | 3 | 同S | kHz±20% | 靜電容量 | 1.8 | 同S | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼 | 同S | | 重量 | 80 | 同S | g±5% | | 出線長(zhǎng) | 1.5 | 同S | m±10mm | 推薦使用芯明天科技“E00與E01模塊化控制器”； |
技術(shù)參數(shù) 型號(hào) | P33.T2S | P33.T4S | P33.T8S | P33.T2K
P33.T4K
P33.T8K | 單位 | | 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx,θy | θx,θy | θx,θy | θx,θy | | | 傳感器類型 | SGS | SGS | SGS | - | | 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度
（0~120V） | 2.5 | 5 | 10 | 同S | mrad±20% | | zui大偏轉(zhuǎn)角度（-20~150V） | 3 | 6 | 12 | 同S | mrad±20% | | 偏轉(zhuǎn)分辨率 | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.1/0.2/0.3 | μrad | | 線性度 | 0.15 | 0.2 | 0.3 | - | %F.S. | | 重復(fù)定位精度 | 0.05 | 0.1 | 0.15 | - | %F.S. | | 空載諧振頻率(θx,θy) | 3.7 | 3.3 | 3.1 | 同S | kHz±20% | 加載諧振頻率θx,θy
(加載φ25x8mm玻璃鏡片) | 2.6 | 1.6 | 1.0 | 同S | kHz±20% | | 靜電容量 | 3.6 | 7.2 | 14.5 | 同S | μF/軸±20% | | 材質(zhì) | 鋼 | 鋼 | 鋼 | 同S | | | 重量 | 0.2 | 0.38 | 0.7 | 同S | kg±5% | | 偏轉(zhuǎn)臺(tái)長(zhǎng)度L | 38 | 56 | 92 | 同S | mm±0.1mm | | 出線長(zhǎng) | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | | 出線方式 | 底/側(cè)出線 | 底/側(cè)出線 | 底/側(cè)出線 | 底/側(cè)出線 | |
技術(shù)參數(shù) 型號(hào) | P32.ZT4S | P32.ZT4K | 單位 | | 運(yùn)動(dòng)自由度 | Z,θx,θy | Z,θx,θy | | | 傳感器類型 | SGS | - | | | θx,θy標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度（0~120V) | 5 | 同S | mrad±20% | | Z向標(biāo)稱行程（0~120V） | 30 | 同S | μm±20% | | θx,θyzui大偏轉(zhuǎn)角度（-20~150V） | 6 | 同S | mrad±20% | | Z向zui大行程（-20~150V） | 40 | 同S | μm±20% | | Z向位移分辨率 | 2.4 | 1.2 | nm | | θx,θy偏轉(zhuǎn)分辨率 | 0.4 | 0.2 | urad | | 閉環(huán)線性度 | 0.2 | - | %F.S. | | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | | 空載諧振頻率(θx,θy) | 2 | 同S | kHz±20% | 加載響應(yīng)頻率θx,θy
(加載φ25x8mm玻璃鏡片) | 1 | 1 | kHz±20% | | 靜電容量 | 3.6 | 同S | μF/軸±20% | | 材質(zhì) | 鋼 | 同S | | | 重量 | 0.35 | 同S | kg±5% | | 偏轉(zhuǎn)臺(tái)長(zhǎng)度L | 56 | 同S | mm±0.1mm | | 出線長(zhǎng) | 1.5 | 同S | m±10mm | | 出線方式 | 底/側(cè)出線 | 底/側(cè)出線 | | zui大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~150V使用；長(zhǎng)期使用建議在0~120V驅(qū)動(dòng)電壓下可延長(zhǎng)使用壽命。 | 推薦使用我公司“E00與01模塊化控制器”；
模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)客戶要求自由組合成上百種產(chǎn)品；
*的主控模塊，可提高閉環(huán)線性度；
具有自發(fā)波形功能，無(wú)需外接控制信號(hào)，可自行發(fā)出正弦波、三角波、鋸齒波、方波等波形；幅值、電壓、偏移量、負(fù)載等參數(shù)均可設(shè)置；可實(shí)時(shí)顯示與檢測(cè)電壓或位移值...... |
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